描述
DFA™-EZ紧凑型囊式过滤器总成用于小体积处理其结构允许快速、安全和简单更换过滤器并易于维护。理想用于光刻胶、各种浆料和其它相容性液体的使用点过滤。
• 在线流路，最小死区
• 一步快速断开过滤器更换
• Profile®深滤器滤膜理想用于清除凝胶、团聚体和过大颗粒
• 滤囊设计可避免错误取向和安装
• 可随时拆卸喷嘴连接进行清洗
• 紧凑尺寸
• 易于使用，可最大程度地缩短停机时间
• 最大程度地减少溶剂接触
• 小尺寸可安装在狭窄空间内
规格
材料
囊式过滤器
- 滤材：聚丙烯
- 内芯、网罩、端盖、背衬、排液口和滤壳：聚丙烯
- 端封/侧封：热密封
- O型圈选项：EPDM、全氟橡胶
头部双联管路组件
- 架：SUS 304（涂装FEP）
- 接头喷嘴：聚乙烯
滤除精度
- 5μm、3μm、5μm
工作条件
- 最高工作温度：38°C
- 最大工作压力：19MPa@ 38°C
连接
- 进口/出口：可使用6mm Swagelok2，可使用25英寸Swagelok
- 可使用通气/排液6mm Swagelok，可使用25英寸Swagelok
性能
压降及介质流量3
3对于粘度不同于水的液体，压降应乘以粘度（厘泊）。
类型
总成、滤囊
用途
过滤
应用
光刻法、滤色器
附加信息
尺寸
滤囊
头部双联管路组件
订购信息
|
滤囊部件编号 |
滤除精度（μm） |
O型圈材料 |
|
DEZ1A015FJ |
1.5 |
EPDM |
|
DEZ1A015FH23 |
1.5 |
全氟橡胶 |
|
DEZ1A030FJ |
3 |
EPDM |
|
DEZ1A030FH23 |
3 |
全氟橡胶 |
|
DEZ1A050FJ |
5 |
EPDM |
|
DEZ1A050FH23 |
5 |
全氟橡胶 |
|
头部双联管路组件部件编号 |
接口：进口/出口 |
接口：通气/排液 |
|
DH1SW66M |
可使用6mm Swagelok |
可使用6mm Swagelok |
|
DH1SW44 |
可使用1⁄4英寸Swagelok |
可使用1⁄4英寸Swagelok |
|
备件（连接喷嘴）4 |
接口：进口/出口 |
接口：通气/排液 |
|
F-DH-SW66M |
可使用6mm Swagelok |
可使用6mm Swagelok |
|
F-DH-SW44 |
可使用1⁄4英寸Swagelok |
可使用1⁄4英寸Swagelok |
规格和可用性：该文件发布时已对其中信息准确性进行了审核，产品数据如有更新，恕不另行通知。如需了解当前详情，请咨询您的本地颇尔办事处或经销商。
分类信息
半导体、显示器
检查
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