描述
用于大流量LCD清洗工艺
• 第5代及以上LCD清洗设备的大流量应用
• 独特的高度不对称聚砜膜（HAPS）具有优异的纳污能力和流量特性
• 低压差
• 匹配多数生产商的滤壳
• 可用于显影、蚀刻和分离工艺中的清洗应用
规格
性能规格
过滤器精度（基于PSL滤除）：
- 05、0.1、0.2、0.45μm
最大压差：
- 20˚C（68℉）时为55MPa（80psid）
- 90˚C（194℉）时为14MPa（20psid）
建议更换工作压差1：
- 35psid (2.41巴)
- 24MPa（35psid）
冲洗：
- 滤芯将使用最小通量冲洗至18MΩ-cm。
产品规格
构成材质
- 滤膜：
- 高度不对称、亲水
- 聚砜膜
- 背衬材料：聚丙烯
- 硬件：聚丙烯
- O型圈：EPDM、氟橡胶、硅橡胶
- 密封：热结合
尺寸（标称）：
- 外径：66mm (2.6英寸）
- 长度（头到头）：254mm（10英寸）、508mm（20英寸）、762mm（30英寸）
性能
额定压降及流体流量
流量基于254mm（10英寸）滤芯。对于非水介质，应将压差乘以流体粘度（cps）。
类型
滤筒和滤芯
用途
过滤
应用
湿法蚀刻化学品、清洗
订购信息
WFPK [1] - [2][3][4][5]（例如WFPK0.2-10UE-M3）
表1-过滤器精度
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代码1 |
过滤器精度2 |
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0.05 |
0.05μm |
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0.1 |
0.1μm |
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0.2 |
0.2μm |
|
0.45 |
0.45μm |
表2-滤芯长度
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代码2 |
滤芯长度 |
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10 |
10英寸 |
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20 |
20英寸 |
|
30 |
30英寸 |
表3-内芯材料
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代码3 |
内芯材料 |
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U |
聚丙烯 |
表4-O型圈材料
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代码4 |
O型圈材料 |
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S |
硅橡胶 |
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E |
EPDM |
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V |
氟橡胶 |
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T |
包封FEP的硅橡胶 |
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F |
包封FEP的氟橡胶 |
表5-端封结构
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代码5 |
端盖结构 |
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无符号 |
工业用双开端结构 |
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M3 |
SOE平闭端、 |
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M6 |
SOE平闭端、 |
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M7 |
SOE翼端、 |
单位换算：1MPa=10巴
分类信息
显示器、显示器
检查
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