UltiKleen™ G2 Excellar ERL过滤器和KC总成 product photo Primary L

UltiKleen™ G2 Excellar ERL Filter and KC Assemblies

UltiKleen G2 Excellar ERL过滤器 UltiKleen G2 Excellar ERL过滤器具有较高的滤除率(ER)和不去湿性,因此使半导体制造商可满足45nm制造节点以上的关键化学过程过滤要求。该过滤器设计用于关键的单通使用点过滤,过滤流量大,因此同样适用于循环槽应用。 先进的滤膜背衬设计可产生最大的有效滤芯过滤面积。过滤面积增大,增加纳污能力,从而可增加使用寿命。UltiKleen G2 Excellar ERL过滤器的液体流量比标准UltiKleen Excellar ER过滤器增加30%。 UltiKleen G2 Excellar ERL滤材采用颇尔专有分子表面裁剪(MST)技术制成。MST使PTFE膜产生不去湿特性,并且无需在滤材表面上增加化学层。膜内超细微孔基材可明显增加低至15nm颗粒的滤除率,从而,可产生一种坚固可靠的化学清洗过滤器,适用于过滤具有侵蚀性的高温清洗化学剂,包括热SPM、SC-1和SC-2等水性化学物质。 • 提高颗粒滤除率 • 坚固的不去湿PTFE滤材 • 大流量 • 超细微孔滤材基质设计 • 全超高纯氟聚合物结构 • 全填满1超纯水包装预润湿(标配) • 低溶出物量(在1.5L的5% HCl浸提液中持续24小时,可溶出物为个位数的ppb2) • 100%通过完整性测试 UltiKleen G2 Excellar ERL KC总成 颇尔UltiKleen G2 KC总成使用高纯度PFA制成,是一种使用UltiKleen Excellar ERL滤芯的全一次性过滤器装置。它们专门设计和理想用于高温过程化学品,特别是硫酸和过氧化氢(SPM)的混合物。独特的下游通气型总成使气泡能够从化学品中高效排出,实现更高的颗粒清洁度。 • 可下游通气 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 密封总成的操作更安全、更换更快 1 包装内装满超纯水。 2 13种元素的总金属浓度:Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn、Pb。


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描述

UltiKleen G2 Excellar ERL过滤器 UltiKleen G2 Excellar ERL过滤器具有较高的滤除率(ER)和不去湿性,因此使半导体制造商可满足45nm制造节点以上的关键化学过程过滤要求。该过滤器设计用于关键的单通使用点过滤,过滤流量大,因此同样适用于循环槽应用。 先进的滤膜背衬设计可产生最大的有效滤芯过滤面积。过滤面积增大,增加纳污能力,从而可增加使用寿命。UltiKleen G2 Excellar ERL过滤器的液体流量比标准UltiKleen Excellar ER过滤器增加30%。 UltiKleen G2 Excellar ERL滤材采用颇尔专有分子表面裁剪(MST)技术制成。MST使PTFE膜产生不去湿特性,并且无需在滤材表面上增加化学层。膜内超细微孔基材可明显增加低至15nm颗粒的滤除率,从而,可产生一种坚固可靠的化学清洗过滤器,适用于过滤具有侵蚀性的高温清洗化学剂,包括热SPM、SC-1和SC-2等水性化学物质。 • 提高颗粒滤除率 • 坚固的不去湿PTFE滤材 • 大流量 • 超细微孔滤材基质设计 • 全超高纯氟聚合物结构 • 全填满1超纯水包装预润湿(标配) • 低溶出物量(在1.5L的5% HCl浸提液中持续24小时,可溶出物为个位数的ppb2) • 100%通过完整性测试 UltiKleen G2 Excellar ERL KC总成 颇尔UltiKleen G2 KC总成使用高纯度PFA制成,是一种使用UltiKleen Excellar ERL滤芯的全一次性过滤器装置。它们专门设计和理想用于高温过程化学品,特别是硫酸和过氧化氢(SPM)的混合物。独特的下游通气型总成使气泡能够从化学品中高效排出,实现更高的颗粒清洁度。 • 可下游通气 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 密封总成的操作更安全、更换更快 1 包装内装满超纯水。 2 13种元素的总金属浓度:Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn、Pb。

规格

构成材质

 

滤材

表面改性PTFE

滤膜背衬

PTFE/PFA

内芯、网罩和端盖

PFA

密封方法

熔体密封

壳体

PFA

O型圈选项

包封FEP的氟橡胶、Kalrez3和Chemraz4

 

3 KalrezDuPont高性能弹性体公司的注册商标。
4 ChemrazGreene Tweed and Co.公司的注册商标。



滤除精度和使用条件

 

 

UltiKleen G2 Excellar ERL过滤器

UltiKleen G2 Excellar ERL KC总成

 

ABFG1

ABFG2

ABFG3

T型流、直列式、L型流(10英寸)

滤除精度

15nm、20nm

过滤面积

3m2/32.3ft2

6m2/64.6ft2

9m2/96.9ft2

3m2/32.3ft2

最高工作温度

180˚C/356˚F

最大工作压力

50˚C(120˚F)时为0.59MPaG(85.6psig)

25˚C(77˚F)时为0.5MPaG(72.5psig)
60˚C(140˚F)时为0.4MPaG(58psig)
90˚C(194˚F)时为0.35MPaG(50.7psig)
120˚C(248˚F)时为0.20MPaG(29psig)
150˚C(302˚F)时为0.15MPaG(21.8psig)
170˚C(338˚F)时为0.12MPaG(17.4psig)

 




尺寸(标称)

UltiKleen G2 Excellar ERL KC总成

在线
L型流
In-Line L-Flow
T型流 T型流下游通气口
T-Flow T-Flow Downstream Vent




不同结构的尺寸

UltiKleen G2 Excellar ERL KC总成(LDFG/LDFV)

 

直列式

标称长度(L
mm/英寸)

T型流

标称长度(L
mm/英寸)

VT

标称长度(L
mm/英寸)

L型流

标称长度(L
mm/英寸)

VL

标称长度(L
mm/英寸)

12E2

396.5/15.6

12E2

408/16.1

12E2

377/14.8

12E2

408/16.1

12E2

440/17.35

12E51

412/16.2

12E71

403/15.9

128E2

385/15.2

 

 

 

 

124E51

412/16.2

13E0

495/19.5

12E71

377/14.8

 

 

 

 

16E8

428/16.9

13E1

432/17

 

 

 

 

 

 

16E51

436/17.2

13E2

442/17.4

128E71

402/15.8

 

 

 

 

17E0

448/17.6

13E6

416/16.4

128E72

402/15.8

 

 

 

 

17E1

445/17.7

13E9

433/17.1

13E1

445/17.5

 

 

 

 

17E51

442/17.4

13E51

473/18.6

13E51

444/17.4

 

 

 

 

17E71

462/18.2

13E71

444/17.5

168E71

403/15.9

 

 

 

 

 

 

 

 

168E72

403/15.9

 

 

 

 

 

性能

典型流动特征-1厘泊流体,20℃


 

类型

总成、滤囊、滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

湿式蚀刻和清洗剂、化学品、湿式蚀刻和清洗剂

订购信息

UltiKleen G2 Excellar ERL过滤器

ABFG [1] GP [2] L3EH1[3]

表1

 

代码

标称长度,mm/英寸

1

244/10

2

487/20

3

726/30

 

表2

 

代码

滤除精度

15

15nm

K

20nm

 

表3

 

代码

预湿选项

-K3

预湿过滤器(包装在去离子水中)

-K7

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物5

 

5 请联系您当地的颇尔代表了解可溶出物的相关信息。

UltiKleen G2 Excellar ERL KC总成6

LDF [1] [2] 1GP [3] L [4] E[5] [6]

表1

 

代码

下游通气

G

N/A

V

可用

 

表2

 

代码

流量

T

T型流动

N

直列式

L

L型流

 

表3

 

代码

滤除精度

15

15nm

K

20nm

 

表4

 

代码

进口/出口

通气口/排液口

类型

头端

滤筒端

12

34英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

T型流/L型流

12

34英寸公头

12英寸公头

12英寸母头

下游通气型

12

34英寸公头

38英寸公头

38英寸公头

直列式

124

34英寸公头

14英寸公头

14英寸公头

直列式

128

34英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

下游通气型

13

34英寸母头

12英寸母头

12英寸母头

T型流动

16

1英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

T型流动

16

1英寸公头

12英寸公头

12英寸母头

下游通气型

16

1英寸公头

38英寸公头

38英寸公头

直列式

164

1英寸公头

14英寸公头

14英寸公头

直列式

168

1英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

下游通气型

17

1英寸母头

12英寸母头

12英寸母头

直列式

 

表5

 

代码

接头

0

1

Flowell7 20系列

2

Super Pillar8

51

喇叭口型

6

FinalLock9

71

Super Pillar 300P系列

72

Super Pillar 300P系列L型

8

Flowell 60系列

9

Flowell 11CR系列

 

表6

 

代码

预湿选项

-K3

预湿过滤器(包装在去离子水中)

-K7

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物6

 

6一次性囊式过滤器并非可用于所有选项。(具体选项请参考代码。)请联系您当地的颇尔代表了解选项可用性。
7 Flowell是Flowell公司的商标。
8 Super Pillar是日本Pillar包装公司的商标。
9 FinalLock是Kurabo Industries有限公司的商标。

分类信息

多层陶瓷电容器、半导体、半导体

检查

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