描述
气体扩散器理想用于短时间内流入大量气体的载量锁定接口或其它真空腔的排气应用中。颇尔ChamberKleen™ 1100和5500系列扩散器综合了不锈钢过滤器和可360°流动的独特扩散器膜。这种组合可实现大量气体均匀流动，限制腔内颗粒的扰动。因此，可以极少的颗粒扰动实现快速排气。
• 减少处理腔排气过程中的湍动气流。
• 360°扩散器设计优化气流
• 316L不锈钢滤材
• 316L不锈钢扩散器
• 洁净室生产和包装
规格
材料
- 316L不锈钢滤材
- 316L不锈钢扩散器
- Viton1O型圈
- ≤22微英寸/0.56微米Ra内表面处理
额定滤除精度
- ≥003μm
- 颗粒影响未超出背景，≤1个颗粒/（英尺3或m3）
连接
- 1100系列：NW25 ISO真空法兰
- 5500系列：NW63 ISO真空法兰
工作条件
- 设计流量2
- 1100系列：15slpm @15psig/1巴入口和出口到全真空（<10托）
- 5500系列：150slpm @15psig/1巴入口和出口到全真空（<10托）
- 最高工作温度
- 1100、5500系列：300°F/149°C（由O型圈法兰连接限定）
建议应用
- 真空腔
- 载量锁定腔
1Viton是杜邦陶氏弹性体公司的注册商标。
2可选其它设计。如欲了解更多信息，请联系颇尔微电子。
性能
压力与平均流量
压力和腔灌装时间
类型
过滤胶囊
用途
过滤, 液体
应用
工艺气体过滤, 工艺气体过滤
附加信息
尺寸
订购信息
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部件编号 |
描述 |
设计流量3（slpm） |
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CK1100I25H |
1100系列、316L不锈钢过滤器、Viton1O型圈 |
0-15 |
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CK5500I63H |
5500系列、316L不锈钢过滤器、Viton O型圈 |
0-150 |
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3目录第182页上的参考设计流量。
单位转换：1巴=100千帕
分类信息
光伏, 半导体
检查
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