XpressKleen™ G3 KC总成 product photo Primary L

XpressKleen™ G3 KC Assemblies

XpressKleen™ G3过滤器发展了PTFE薄膜过滤,使得半导体制造商能够满足最先进的设备制造过程的严格化学过滤要求。XpressKleen过滤器可控制关键的颗粒尺寸以及保持关键流体纯度,确保每台单长度过滤器总金属离子可提取物低于3ppb。XpressKleen过滤器表面清洗包括去除有机物污染和表面颗粒。这使得过滤器适用于供应点(POS)到工艺点用途,有助于确定污染控制系统,为晶片提供所需的流体纯度。这通过颇尔全面整合的制造能力得以实现,包括从PTFE树脂到成品过滤装置的全部环节。颇尔的先进制造工艺(AMP)采用最新的洁净室制造和最先进的专有清洗步骤,同时还采用改进的统计过程控制,确保可靠性和性能。 XpressKleen G3 KC总成的直径比UltiKleen G2 KC(T型流)总成稍大,另外还可保持与XpressKleen G2 KC(T型流)总成相同的面对面密封距离。较大直径可装入较大型的XpressKleen过滤器,过滤面积明显增加,从而实现流量增大且使用寿命延长。 XpressKleen G3滤材采用颇尔专有分子表面裁剪(MST)技术制成。不去湿XpressKleen G2过滤器经验证可用于侵蚀性的高温清洗化学物质,包括SC1和SC2等水性化学物质。 • 低溶出物量 • >40nm颗粒冲洗控制(UPW)1 • TOC控制 • 使用超纯水包装100%预润湿发货 • 大流量 • 可下游通气的T-flow G3 KC总成 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 密封总成的操作更安全、更换更快 • 100%通过完整性测试 1>20nm的颗粒清洗控制(UPW),实现5nm精度


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描述

XpressKleen™ G3过滤器发展了PTFE薄膜过滤,使得半导体制造商能够满足最先进的设备制造过程的严格化学过滤要求。XpressKleen过滤器可控制关键的颗粒尺寸以及保持关键流体纯度,确保每台单长度过滤器总金属离子可提取物低于3ppb。XpressKleen过滤器表面清洗包括去除有机物污染和表面颗粒。这使得过滤器适用于供应点(POS)到工艺点用途,有助于确定污染控制系统,为晶片提供所需的流体纯度。这通过颇尔全面整合的制造能力得以实现,包括从PTFE树脂到成品过滤装置的全部环节。颇尔的先进制造工艺(AMP)采用最新的洁净室制造和最先进的专有清洗步骤,同时还采用改进的统计过程控制,确保可靠性和性能。 XpressKleen G3 KC总成的直径比UltiKleen G2 KC(T型流)总成稍大,另外还可保持与XpressKleen G2 KC(T型流)总成相同的面对面密封距离。较大直径可装入较大型的XpressKleen过滤器,过滤面积明显增加,从而实现流量增大且使用寿命延长。 XpressKleen G3滤材采用颇尔专有分子表面裁剪(MST)技术制成。不去湿XpressKleen G2过滤器经验证可用于侵蚀性的高温清洗化学物质,包括SC1和SC2等水性化学物质。 • 低溶出物量 • >40nm颗粒冲洗控制(UPW)1 • TOC控制 • 使用超纯水包装100%预润湿发货 • 大流量 • 可下游通气的T-flow G3 KC总成 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 密封总成的操作更安全、更换更快 • 100%通过完整性测试 1>20nm的颗粒清洗控制(UPW),实现5nm精度

规格

构成材质

部件

材料2

滤材

表面改性PTFE

滤膜背衬

PFA

内芯、网罩和端盖

PFA

壳体

PFA

*2全氟聚合物材料,不使用PFOA


滤除精度和使用条件

滤除精度

5nm

| 10nm

| 12nm

| 15nm

过滤面积

4.3m2/46.3ft2

| 4.3m2/46.3ft2

| 3.3m2/35.5ft2

| 4.4m2/47.4ft2

金属可溶出物

<0.75ppb4

| <1ppb3

| <3ppb3

流量

T型流、直列式

最高工作温度

180ºC/356ºF

最大工作压力

25ºC(77ºF)时为0.49MPaG(71psig)
60ºC(140ºF)时为0.39MPaG(56.6psig)
90ºC(194ºF)时为0.34MPaG(49.3psig)
120ºC(248ºF)时为0.20MPaG(29.0psig)
150ºC(302ºF)时为0.15MPaG(21.8psig)
180ºC(356ºF)时为0.12MPaG(17.4psig)

3 13种元素的总金属浓度:Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn、Pb。

4 19种元素的总金属浓度:Al、Ba、B、K、Na、Fe、Li、Mg、Mn、Pb、Sn、Ti、Zn、Ni、Cu、Cr、Co、Ca、Ag。



尺寸




5 Pillar是日本Pillar包装有限公司的商标。

性能

典型流动特征-1厘泊流体、20℃


类型

总成、滤囊

用途

过滤

应用

化学品、湿法蚀刻和清洗

订购信息

部件编号6 = LDFH [1] 1XP [2] [3] E [4]

表1

代码

流量

T

T型流

N

直列式

表2

代码

滤除精度

5

5nm

10

10nm

12

12nm

15

15nm

表3

代码

进口/出口

通气口/排液口

类型

头端

滤筒端

12

34英寸公头

12英寸公头

1⁄2英寸母头

T型流

128

34英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

T型流

16

1英寸公头

12英寸公头

1⁄2英寸母头

T型流

164

1英寸公头

14英寸公头

14英寸公头

直列式

168

1英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

T型流、直列式

6一次性囊式过滤器并非可使用所有选项。(具体选项请参考代码。)请联系您当地的颇尔代表了解选项可用性。

表4

代码

接头

2

Super Pillar型8

51

喇叭口型

71

Super Pillar 300P系列

72

Super Pillar 300P系列L型

分类信息

半导体、半导体

检查

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