描述
Emflon®滤芯设计用于≥3nm（0.003μm）的惰性气体应用过滤，用于半导体设备生产。
• 应用范围广
• 高效清除颗粒
• 流量高达50scfm
• 高流速与压差比
• 优化滤芯设计
• 在洁净室环境中生产
• 100%通过完整性测试
规格
材料
- 滤材：PTFE
- 内芯、网罩和端盖：聚丙烯
- 背衬和排液：聚丙烯
- O型圈：Viton1、Viton-A
滤除精度
- ≥003μm
结构
- 标称长度：
- 1英寸/25mm
- 75英寸/44mm
- 5英寸/64mm
- 5英寸/127mm
- 直径：18英寸/55mm
- O型圈尺寸/端盖：
- 115内部/平端（9106/9112）
- 116内部/平端（2230/4463）
- 118外部/平端（4440）
- 209内部/平端（9130/9163）
工作条件
- 最高温度：194°F/90 °C
- 最大前向压差:
- 120°F时为80psi/50°C时为5巴
- 194°F时为50psi/90°C时为5巴
性能
压降与气体流量
滤芯类型：Junior 9106/9112
滤芯类型：Junior 4440
滤芯类型：Junior 2230/9130
滤芯类型：Junior 4463/9163
类型
滤筒和滤芯
用途
过滤
应用
工艺气体过滤
订购信息
|
部件编号 |
滤除精度（μm） |
标称长度（英寸/mm） |
O型圈尺寸/材料 |
|
MCY9106FREH |
0.003 |
1/25 |
115/Viton（内部） |
|
MCY9112FREH |
0.003 |
1.75/44 |
115/Viton（内部） |
|
MCY9130FREH |
0.003 |
2.5/64 |
209/Viton（内部） |
|
MCY9163FREH |
0.003 |
5/127 |
209/Viton（内部） |
|
MDY2230FREHF |
0.003 |
2.5/64 |
116/Viton A（内部） |
|
MCY4463FREHF |
0.003 |
5/127 |
116/Viton A（内部） |
|
MCY4440FREHF |
0.003 |
5/127 |
118/Viton A（外部） |
单位换算：1巴=100千帕
分类信息
半导体
检查
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