描述
颇尔HiP Kleen-Change过滤器是一种紧凑的囊式总成，理想适用于使用点处的高压去离子水过滤。
创新的囊式过滤器设计可严格控制单晶片清洗应用中的喷水供应。
超细微孔滤膜可明显提高超级流量下的颗粒滤除。
特点
• 使用超细多孔PTFE膜结构实现20nm滤除
• 流线型流动降低压降
• 所有润湿部件都不含金属，适于接触纯水
• 设计用于10MPa/1450psig的高压运行
• 预润湿供货
• 紧凑的过滤器尺寸适于使用点
• 高达100L/分钟的大流量
规格
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构成材质 |
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滤除精度 |
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结构 |
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过滤面积 |
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最高工作温度 |
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最大工作压力（表压） |
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最大前向压差 |
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尺寸
性能
压降及介质流量1
1对于粘度不同于水的液体，压降应乘以粘度（厘泊）。
类型
总成
用途
过滤
应用
湿法蚀刻和清洗
订购信息
部件编号-LDSN04GPK02E11-K13
分类信息
半导体
检查
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