UltiKleen™ G2 Excellar过滤器和KC总成 product photo Primary L

UltiKleen™ G2 Excellar Filter and KC Assemblies

UltiKleen G2 Excellar过滤器 UltiKleen G2 ExcellarU过滤器使用技术最先进的不去湿全氟聚合物滤材制成,颇尔将该滤材用于半导体应用。该过滤器专门设计用于处理对晶片清洗至关重要的水性产气化学品(SC-1、SC-2和SPM)。 UltiKleen Excellar G2过滤器采用专有表面化学分子级裁剪(MST)技术,具有不去湿特性。与传统涂装和接枝类方法不同,MST不会破坏化学相容性或纯度。使用MST的PTFE膜可在强腐蚀性酸、碱和有机化合物中保持可靠性和耐用性。 UltiKleen G2 Excellar KC总成 UltiKleen G2 KC总成是一种完全一次性的过滤器装置,使用高纯度PFA制成的UltiKleen Excellar滤芯。它们专门设计和理想用于高温过程化学品,特别是硫酸和过氧化氢(SPM)的混合物。独特的下游通气型总成使气泡能够从化学品中高效排出,实现更高的颗粒清洁度。 • 非去湿PTFE膜 • 全氟聚合物结构 • 全填满1超纯水包装预润湿 • 耐高温高压能力 • 极大流量 • 低溶出物量(在1.5L的5% HCl浸提液中持续24小时,可溶出物<30ppb2) • 可下游通气的G2-type KC总成 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 密封总成的操作更安全、更换更快 • 100%通过完整性测试


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描述

UltiKleen G2 Excellar过滤器 UltiKleen G2 ExcellarU过滤器使用技术最先进的不去湿全氟聚合物滤材制成,颇尔将该滤材用于半导体应用。该过滤器专门设计用于处理对晶片清洗至关重要的水性产气化学品(SC-1、SC-2和SPM)。 UltiKleen Excellar G2过滤器采用专有表面化学分子级裁剪(MST)技术,具有不去湿特性。与传统涂装和接枝类方法不同,MST不会破坏化学相容性或纯度。使用MST的PTFE膜可在强腐蚀性酸、碱和有机化合物中保持可靠性和耐用性。 UltiKleen G2 Excellar KC总成 UltiKleen G2 KC总成是一种完全一次性的过滤器装置,使用高纯度PFA制成的UltiKleen Excellar滤芯。它们专门设计和理想用于高温过程化学品,特别是硫酸和过氧化氢(SPM)的混合物。独特的下游通气型总成使气泡能够从化学品中高效排出,实现更高的颗粒清洁度。 • 非去湿PTFE膜 • 全氟聚合物结构 • 全填满1超纯水包装预润湿 • 耐高温高压能力 • 极大流量 • 低溶出物量(在1.5L的5% HCl浸提液中持续24小时,可溶出物<30ppb2) • 可下游通气的G2-type KC总成 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 密封总成的操作更安全、更换更快 • 100%通过完整性测试

规格

构成材质

 

滤材

表面改性PTFE

滤膜背衬

PTFE

内芯、网罩和端盖

PFA

密封方法

熔体密封

壳体

PFA

O型圈选项

包封FEP的氟橡胶、Kalrez3和Chemraz4

 

3 KalrezDuPont高性能弹性体公司的注册商标。
4 ChemrazGreene Tweed and Co.公司的注册商标。



滤除精度和使用条件

 

 

UltiKleen G2 Excellar过滤器

UltiKleen G2 Excellar KC总成

 

ABFG1

ABFG2

ABFG3

T型流、直列式、L型流(10英寸)

滤除精度

0.05μm

过滤面积

2.2 m2 23.7 ft2

4.4 m2 47.4 ft2

6.6 m2 71.1 ft2

2.2 m2 23.7 ft2

最高工作温度

170˚C/338˚F

最大工作压力

50˚C(120˚F)时为0.59MPaG(85.6psig)

25˚C(77˚F)时为0.49MPaG(71psig)
60˚C(140˚F)时为0.39MPaG(56.6psig)
90˚C(194˚F)时为0.34MPaG(49.3psig)
120˚C(248˚F)时为0.20MPaG(29.0psig)
150˚C(302˚F)时为0.15MPaG(21.8psig)
170˚C(338˚F)时为0.12MPaG(17.4psig)

 





尺寸
UltiKleen G2 Excellar Kleen更换总成

直列式 L型流
In-Line L-Flow
T型流 T型流(下游通气口型)
T-Flow T-Flow (Downstream venting type)




不同结构的尺寸

G2 Excellar KCC总成(LDFG/LDFV)

 

直列式

标称长度(L
mm/英寸)

T型流

标称长度(L
mm/英寸)

VT

标称长度(L
mm/英寸)

L型流

标称长度(L
mm/英寸)

VL

标称长度(L
mm/英寸)

12E2

396.5/15.6

12E2

408/16.1

12E2

377/14.8

12E2

408/16.1

12E2

440/17.35

12E51

412/16.2

12E71

403/15.9

128E2

385/15.2

 

124E51

412/16.2

13E0

495/19.5

12E71

377/14.8

 

16E8

428/16.9

13E1

432/17

12E72

377/14.8

 

16E51

436/17.2

13E2

442/17.4

128E71

402/15.8

 

17E0

448/17.6

13E6

416/16.4

128E72

402/15.8

 

17E1

445/17.7

13E9

433/17.1

13E1

445/17.5

 

17E51

442/17.4

13E51

473/18.6

13E51

444/17.4

 

17E71

462/18.2

13E71

444/17.5

168E71

403/15.9

 

 

 

 

 

168E72

403/15.9

 

 

性能

压降及介质流量5
UltiKleen G2 Excellar KC总成
(直列式、1英寸喷嘴)

UltiKleen G2 Excellar KC Assembly (in-line, 1 in. nozzle)



UltiKleen G2 KC总成
(L型流和T型流、3/4英寸喷嘴)

UltiKleen G2 KC Assembly (L-flow and T-flow, 3/4 in. nozzle)

UltiKleen G2 Excellar过滤器(254mm/10英寸)

UltiKleen G2 Excellar Filter (254 mm / 10 in.)

5非水液体的压差应乘以流体粘度(厘泊)。
单位换算:1=0.1MPa

类型

总成、滤囊、滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

湿式蚀刻和清洗剂、化学品、湿式蚀刻和清洗剂

订购信息

 

UltiKleen G2 Excellar过滤器

ABFG [1] GP [2] L3EH1 [3]

表1

 

代码

标称长度,mm/英寸

1

225/10

2

468/20

3

707/30

 

表2

 

代码

滤除精度

D

0.05μm

 

表3

 

代码

预湿选项

-K3

预湿过滤器(包装在去离子水中)

-K7

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物6

 

6 请联系您当地的颇尔代表了解可溶出物的相关信息。

UltiKleen G2 Excellar KC总成7

LDF [1] [2] 1 GP [3] L [4] E[5] [6]

表1

 

代码

下游通气

G

N/A

V

可用

 

表2

 

代码

流量

T

T型流动

N

直列式

L

L型流

 

表3

 

代码

滤除精度

D

0.05μm

 

表4

 

代码

进口/出口

通气口/排液口

类型

头端

滤筒端

12

34英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

T型流/L型流

12

34英寸公头

12英寸公头

12英寸母头

下游通气型

12

34英寸公头

38英寸公头

38英寸公头

直列式

124

34英寸公头

14英寸公头

14英寸公头

直列式

128

34英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

下游通气型

13

34英寸公头

12英寸母头

12英寸母头

T型流动

16

1英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

T型流动

16

1英寸公头

12英寸公头

12英寸母头

下游通气型

16

1英寸公头

38英寸公头

38英寸公头

直列式

164

1英寸公头

14英寸公头

14英寸公头

直列式

168

1英寸公头

12英寸公头

12英寸公头

下游通气型

17

1英寸母头

12英寸母头

12英寸母头

直列式

 

表5

 

代码

接头

0

1

20系列Flowell8

2

Super Pillar9

51

喇叭口型

6

FinalLock10

71

Super Pillar 300P系列

72

Super Pillar 300P系列L型

8

60系列Flowell

9

11CR系列Flowell

 

表6

 

代码

预湿选项

-K3

预湿过滤器(包装在去离子水中)

-K7

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物5

 

7一次性囊式过滤器并非可用于所有选项。(具体选项请参考代码。)请联系您当地的颇尔代表了解选项可用性。
8 FlowellFlowell公司的商标。
9 Super Pillar是日本Pillar包装公司的商标。
10 FinalLockKurabo Industries有限公司的商标。

分类信息

多层陶瓷电容器、半导体、半导体

检查

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