Ultipleat®SP DR过滤器和Ultipleat® SP DR KC总成 product photo Primary L

Ultipleat® SP DR Filters and Ultipleat® SP DR KC Assemblies

颇尔Ultipleat SP DR过滤器专门设计用于大流量和提高关键表面处理化学浴中的颗粒清除,例如HF和BOE。SP DR过滤器采用高不对称薄膜结构,该结构使用颇尔专有膜建模技术(MMT)开发。 滤膜的孔径分布在其深度范围内从微孔到纳米微孔均匀转变,由此产生一种用于深层滤除小至2纳米的亚微米颗粒的新型专用滤膜形态。这种滤除不受传统薄膜微孔结构的流量约束限制。 2Nm、5nm和10nm Ultipleat SP DR过滤器使用原生聚芳砜膜,其表面能比典型表面改性的不去湿PTFE薄膜高40%以上。 Ultipleat SP DR SWD囊式过滤器是一种节省空间和低压降一次性过滤器装置。理想适用于安装至单晶片清洗系统中。 • MMT改进双滤除颗粒 • 优异的HF过滤性能 • 增加流量和使用寿命 • 超细微孔膜基材 • 高表面能薄膜,最大程度减少微泡形成 • 工具验证更快,从而降低拥有成本 • 节省空间的紧凑小型囊式过滤器


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描述

颇尔Ultipleat SP DR过滤器专门设计用于大流量和提高关键表面处理化学浴中的颗粒清除,例如HF和BOE。SP DR过滤器采用高不对称薄膜结构,该结构使用颇尔专有膜建模技术(MMT)开发。 滤膜的孔径分布在其深度范围内从微孔到纳米微孔均匀转变,由此产生一种用于深层滤除小至2纳米的亚微米颗粒的新型专用滤膜形态。这种滤除不受传统薄膜微孔结构的流量约束限制。 2Nm、5nm和10nm Ultipleat SP DR过滤器使用原生聚芳砜膜,其表面能比典型表面改性的不去湿PTFE薄膜高40%以上。 Ultipleat SP DR SWD囊式过滤器是一种节省空间和低压降一次性过滤器装置。理想适用于安装至单晶片清洗系统中。 • MMT改进双滤除颗粒 • 优异的HF过滤性能 • 增加流量和使用寿命 • 超细微孔膜基材 • 高表面能薄膜,最大程度减少微泡形成 • 工具验证更快,从而降低拥有成本 • 节省空间的紧凑小型囊式过滤器

规格

构成材质

 

部件

材料

滤材

聚芳砜

背衬和排液

聚乙烯

内芯、网罩和端盖

聚乙烯

密封方法

熔体密封

壳体

聚乙烯

O型圈选项

包封FEP的氟橡胶

 

 

 

产品名称

Ultipleat SP DR KC总成

Ultipleat SP DR SWD囊式过滤器

滤除精度

30nm

10nm

10nm

5nm

2nm

滤膜可润湿性

亲水性

疏水性

疏水性

结构

直列式

直列式

U形流动

过滤面积

1.2m2/12.9ft2

0.8m2/8.6ft2

0.25m2/2.7ft2

0.20m2/2.2ft2

最高工作温度

50°C/122°F

60°C/140°F

最大工作压力

0.39 MPaG / 57 psig ‹ 25 °C / 77 °F
0.15 MPaG / 21 psig ‹ 50 °C / 122 °F

0.35 MPaG / 51 psig ‹ 38 °C / 100 °F
0.17 MPaG / 25 psig ‹ 60 °C / 140 °F

最大前向压差

50°C/122°F时为0.1MPa/15psid

60°C/140°F时为0.1MPa/15psid

 

 

 

产品名称

Ultipleat SP DR过滤器

滤除精度

30nm

10nm

滤膜可润湿性

亲水性

疏水性

结构

254mm/10英寸

229mm/9英寸

254mm/10英寸

229mm/9英寸

过滤面积

1.5m2/16.1ft2

1.3m2/14.0ft2

1.0m2/10.8ft2

0.98m2/10.6ft2

最高工作温度

70°C/158°F

最大前向压差

70 °C/158 °F时为0.1MPa/15psid

 



尺寸(标称)

性能

压降与介质流量1(20℃的水)


1额定流量如果介质粘度不同于水,压降应乘以粘度(厘泊)。

类型

总成、囊式、滤筒和滤芯、使用点过滤器

用途

过滤

应用

湿法蚀刻和清洗

订购信息

部件编号/订购信息3
Ultipleat SP DR KC总成

LDDN09 [表1] [表2] E51 [表3]

表1

 

代码

滤除精度

HSVH

10nm

UHSQ

30nm

 

表2

 

代码

进口/出口

通气口/排液口

流量

12

34英寸喇叭口型公头

12英寸喇叭口型公头

直列式

164

1英寸喇叭口型公头

14英寸喇叭口型公头

直列式

 

表3

 

代码

预湿选项

范围

干燥

仅30nm

-K3

预湿过滤器(包装在去离子水中)

仅10nm

-K6

干燥、低金属可溶出物2

仅30nm

-K13C

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物2

仅10nm

 

Ultipleat SP DR SWD囊式过滤器

SWD03 [表1] 4E71 [表2]

表1

 

代码

滤除精度

HSAH

2nm

HSSH

5nm

HSVH

10nm

 

接头(进口/出口,通气口:¼英寸,Super Pillar4 300P系列(日本Pillar

表2

 

代码

预湿选项

范围

-K13C

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物2

仅5nm、10nm

-K13D

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物2

仅2nm

 

Ultipleat SP DR过滤器

ABD [1] [2] 3EH1 [3]

表1

 

代码

滤芯长度(标称)

04

102mm/4英寸

09

229mm/9英寸

1

254mm/10英寸

2

508mm/20英寸

3

762mm/30英寸

 

表2

 

代码

滤除精度

HSVH

10nm

UHSQ

30nm

 

表3

 

代码

预湿选项

范围

干燥

仅30nm

-K3

预湿过滤器(包装在去离子水中)

仅10nm

-K6

干燥、低金属可溶出物2

仅30nm

-K13C

预湿过滤器(包装在去离子水中)、低金属可溶出物2

仅10nm

 

2 可溶出物条件请联系颇尔
3 并非始终可提供可组合所有代码的部件编号。
请联系颇尔咨询部件编号可用性。
4 Pillar是日本Pillar包装有限公司的商标。

分类信息

半导体

检查

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