1. 首页/
  2. Microelectronics/
  3. 半导体 /
  4. 湿式蚀刻和清洁/
  5. XpressKleen™ G2过滤器&XpressKleen™ G2 KC总成
XpressKleen™ G2过滤器&XpressKleen™ G2 KC总成 product photo Primary L

XpressKleen™ G2 Filters & XpressKleen™ G2 KC Assemblies

XpressKleen™ G2过滤器发展了PTFE薄膜过滤，使得半导体制造商能够满足最先进的设备制造过程的严格化学过滤要求。XpressKleen过滤器可控制关键的颗粒尺寸以及保持关键流体纯度，确保每台单长度过滤器的总金属离子可提取物低于3ppb1、2。XpressKleen过滤器表面清洗包括去除有机物污染和表面颗粒。这使得过滤器适用于供应点（POS）到工艺点用途，有助于确定污染控制系统，为晶片提供所需的流体纯度。 这通过颇尔全面整合的制造能力得以实现，包括从PTFE树脂到成品过滤装置的全部环节。颇尔的先进制造工艺（AMP）采用最新的洁净室制造和最先进的专有清洗步骤，同时还采用改进的统计过程控制，确保可靠性和性能。 XpressKleen G2滤材采用颇尔专有分子表面裁剪（MST）技术制成。不去湿XpressKleen G2过滤器经验证可用于侵蚀性的高温清洗化学物质，包括SC1和SC2等水性化学物质。 • 低溶出<3ppb 总共13种元素 <0.1ppb（Ni）、<0.2ppb（Cu） • >40nm颗粒冲洗控制（UPW） • TOC控制 • 使用超纯水包装100%预润湿发货 • 大流量 • 可下游通气的G2 KC总成 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 密封总成的操作更安全、更换更快 • 100%通过完整性测试 1 13种元素的总金属浓度：Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn、Pb。详情请咨询工厂。 2 XP10nm具有≤1ppb的总金属离子浓度/单长度过滤器。
了解更多


Contact Us
* 必填项

描述

XpressKleen™ G2过滤器发展了PTFE薄膜过滤，使得半导体制造商能够满足最先进的设备制造过程的严格化学过滤要求。XpressKleen过滤器可控制关键的颗粒尺寸以及保持关键流体纯度，确保每台单长度过滤器的总金属离子可提取物低于3ppb1、2。XpressKleen过滤器表面清洗包括去除有机物污染和表面颗粒。这使得过滤器适用于供应点（POS）到工艺点用途，有助于确定污染控制系统，为晶片提供所需的流体纯度。 这通过颇尔全面整合的制造能力得以实现，包括从PTFE树脂到成品过滤装置的全部环节。颇尔的先进制造工艺（AMP）采用最新的洁净室制造和最先进的专有清洗步骤，同时还采用改进的统计过程控制，确保可靠性和性能。 XpressKleen G2滤材采用颇尔专有分子表面裁剪（MST）技术制成。不去湿XpressKleen G2过滤器经验证可用于侵蚀性的高温清洗化学物质，包括SC1和SC2等水性化学物质。 • 低溶出<3ppb 总共13种元素 <0.1ppb（Ni）、<0.2ppb（Cu） • >40nm颗粒冲洗控制（UPW） • TOC控制 • 使用超纯水包装100%预润湿发货 • 大流量 • 可下游通气的G2 KC总成 • 滤芯一体式密封在滤壳中的一次性过滤器装置 • 密封总成的操作更安全、更换更快 • 100%通过完整性测试 1 13种元素的总金属浓度：Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn、Pb。详情请咨询工厂。 2 XP10nm具有≤1ppb的总金属离子浓度/单长度过滤器。

规格

构成材质3

 

部件

材料

滤材

表面改性PTFE

滤膜背衬

PTFE/PFA

内芯、网罩和端盖

PFA

壳体

PFA

O型圈选项4

包封FEP的氟橡胶

 

3全氟聚合物材料，不使用PFOA。
4 其它选项请咨询工厂。



滤除精度和使用条件

Kleen-Change® (KC) 

 

滤除精度

10nm

12nm

15nm

30nm

滤膜代码

XP10

XP12

XP15

XP15L

XP30

过滤面积

2.8m2

2.2m2

1.9m2

3m2

1.9m2

流量

直列式、L型流、T型流

最高工作温度

180°C/356°F

最大工作压力

25°C/77°F时为0.49MPaG/71psig
60°C/140°F时为0.39MPaG/56.6psig
90°C/194°F时为0.34MPaG/49.3psig
120°C/248°F时为0.20MPaG/29.0psig
150°C/302°F时为0.15MPaG/21.8psig
180°C/356°F时为0.12MPaG/17.4psig

 



滤芯

 

滤除精度

10nm

12nm

15nm

30nm

滤膜代码

XP10

XP12

XP15

XP15L

XP30

过滤面积

ABFG1

2.8m2

2.2m2

1.9m2

3m2

1.9m2

ABFG2

5.6m2

4.4m2

3.8m2

6m2

3.8m2

最高工作温度

180°C/356°F

最大工作压力

50°C/120°F时为0.59MPaG/85.6psig

 

性能

典型流动特征-1厘泊流体、20℃



类型

总成、滤囊、滤筒和滤芯

用途

过滤

应用

化学品、湿法蚀刻和清洗

订购信息

XpressKleen G2 KC总成
LDF [1] [2] 1XP [3] [4] E [5]

表1

 

代码

下游通气

G

不适用

V

可用

 

表2

 

代码

流量

T

T型流

N

直列式

L

L型流

 

表3

 

代码

滤除精度

10

10nm

12

12nm

15

15nm

15L

15nm

30

30nm

 

表4

 

代码

>进口/出口

通气口/排液口

类型

头端

滤筒端

12

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流/L型流

12

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

DV型

12

3⁄4英寸公头

3⁄8英寸公头

3⁄8英寸公头

直列式

124

3⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

直列式

128

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

DV型

13

3⁄4英寸公头

1⁄2英寸母头

1⁄2英寸母头

T型流

16

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

T型流

16

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸母头

DV型

16

1英寸公头

3⁄8英寸公头

3⁄8英寸公头

直列式

164

1英寸公头

1⁄4英寸公头

1⁄4英寸公头

直列式

168

1英寸公头

1⁄2英寸公头

1⁄2英寸公头

DV型

17

1英寸母头

1⁄2英寸母头

1⁄2英寸母头

直列式

 

DV: 下游通气

表55

 

代码

接头

1

20系列Flowell6

2

Super Pillar型7

51

喇叭口型

6

FinalLock8

71

Super Pillar 300P系列

72

Super Pillar 300P系列L型

8

60系列Flowell

9

11CR系列Flowell

 

5一次性囊式过滤器并非可使用所有选项。（选项参见代码）请联系您当地的颇尔代表了解选项可用性。
6 Flowell是Flowell公司的商标。
7 Super Pillar是日本Pillar包装公司的商标。
8 FinalLock是Kurabo Industries有限公司的商标。

XpressKleen G2过滤器
ABFG [1] XP [2] 3E [3]

表1

 

代码

长度
（英寸）

（标称，mm）

1

10

225

2

20

468

 

表2

 

代码

滤除精度

10

10nm

12

12nm

15

15nm

15L

15nm

30

30nm

 

表3

 

代码

O型圈材料

H1

包封FEP的氟橡胶

H11

Kalrez9

H35

Perfrez10

 
9 Kalrez是杜邦高性能弹性体公司的商标。
10 Perfrez是Applied Seals North Americas公司的商标

分类信息

半导体、半导体

检查

Earn 10% off* your next order online by leaving a review of this product. Please login to your account to leave a review. We appreciate and value your feedback.

*Subject to Terms and Conditions.